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多晶硅熔解用坩埚及其制造方法 CN201210163681.4


本发明提供一种多晶硅熔解用坩埚及其制造方法,使得可以在某种程度上重复使用,实现坩埚的维护成本下降,同时抑制工业废弃物的排出,降低坩埚的更换频率从而相应地提高太阳能电池用多晶硅的制造效率。由氧化铝组成的多晶硅熔解用坩埚具有:低温熔解层,其形成于与多晶硅熔液接触侧的坩埚主体表面,且在比所述氧化铝的熔点低的温度下熔解;以及覆膜层,其在所述低温熔解层的层表面上且含有氮化硅。
专利类型:发明
专利号:201210163681.4
专利申请日:2012.05.24
公开(公告)号:
公开(公告)日:2012.11.28
分类号:
申请(专利权)人:日本精细陶瓷有限公司
发明(设计)人:矶村敬一郎;山崎宽司;齐藤刚
国别省市:日本;JP


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